Lam Research Corp

Lam Research Corporation занимается проектированием, производством, сбытом, восстановлением и обслуживанием оборудования для обработки полупроводников, используемого при изготовлении интегральных схем в США, Китае, Корее, на Тайване, в Японии, Юго-Восточной Азии и Европе. Компания предлагает системы ALTUS для нанесения конформных или селективных пленок в процессах металлизации вольфрамом или молибденом; оборудование для электрохимического осаждения SABRE для перехода на медные межсоединения, поддерживающее производство по технологии медного дамаскинажа; системы Striker для попластинного атомно-слоевого осаждения диэлектрических пленок; а также продукты VECTOR для плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD). Она также поставляет Akara — систему травления проводников, предназначенную для повышения точности травления, селективности и снижения дефектности; Argos, Prevos и Selis — системы селективного травления, применяемые в производстве передовых логических микросхем и устройств памяти, требующих точного контроля на наноуровне; Flex для травления диэлектриков; Vantex — систему травления диэлектриков на основе радиочастотных технологий, обеспечивающую стабильную повторяемость характеристик от пластины к пластине благодаря решениям Equipment Intelligence; Kiyo для травления проводников; Syndion для глубокого травления кремния; а также продукты линейки Versys для травления металлов. Кроме того, компания предлагает решения Coronus для очистки фаски пластин с целью повышения выхода годных кристаллов и продукты серий Da Vinci, DV-Prime, EOS и SP для различных задач по очистке пластин. Помимо этого, Lam Research поставляет системы осаждения, травления и очистки линейки Reliant, продукты на платформе Sense.i, а также оказывает услуги сервисного обслуживания, поставляет запасные части и выполняет модернизацию оборудования. Lam Research Corporation была основана в 1980 году, ее штаб-квартира находится во Фримонте, штат Калифорния.